Kas yra fotolitografija?
Fotolitografija yra vienas iš svarbių integrinių grandynų (IC arba lustų) gamybos procesų. Paprasčiau tariant, tai yra grandinės modelio kopijavimas ant pagrindo naudojant fotokaukę ir fotorezistą.
Pagrindas bus dažomas ant izoliacinio silicio dioksido sluoksnio ir fotorezisto. Fotorezistas gali būti lengvai ištirpinamas ryškikliu po to, kai jį veikia UV šviesa, po ištirpinimo ir išgraviravimo grandinės raštas liks ant pagrindo.
Kas yra Photoresist? Kodėl 500 nm UV bangos ilgis turi blokuoti?
Fotorezistas derinamas su dervomis, tirpikliais ir priedais. Šviesai jautrus fotorezisto diapazonas yra 200 nm{1}} nm. Todėl daugelis puslaidininkių laboratorijų naudos geltoną šviesą, kuri blokuoja 500 nm UV bangos ilgį, kad būtų išvengta fotorezisto per daug eksponavimo ar per anksti eksponavimo.
